Elektronski razred DMF (večji ali enak 99,99%)
Elektronski razred DMF (večji ali enak 99,99%) identiteta izdelka
Ultra-visoka čistost DMF (CAS 68-12-2) za polprevodniško litografijo, srečanje s polprevodnimi standardi C12 .
Edinstveni poudarki
Pod-PPB kovine: Cu/ni/fe manj kot ali enak 0,05 ppb (ICP-MS potrjeno)
Nadzor nanodelcev: Manj kot ali enako 5 delcev/ml (večji ali enaki 0,1 μm, SLA -4)
Kritična uporaba: EUV fotoresistični odstranjevanje (L/S 5NM vozlišča)
Tehnična specifikacija
| Parameter | Vrednost |
|---|---|
| Vsebnost anisola | Manj kot ali enak 1 ppm |
| Dielektrična konstanta | 36,91 ± 0,02 (25 stopinj) |
| OUTGAS (TGA) | Manj kot ali enako 50 ug/cm² |
Embalaža
20L fluorirane steklenice HDPE
Nadev iz čistega razreda 10 razreda
Priljubljena oznake: Elektronski DMF (večji ali enak 99,99%) - Polprevodniške litografske aplikacije, Kitajska elektronska ocena DMF (večja ali enaka 99,99%) - Proizvajalci litografije za polprevodnike, dobavitelji, tovarna
